半導体・電子部品関連

導入事例 - 半導体・電子部品関連

耐蝕ポンプ

• シリコンウエハーの酸洗浄廃液やエッチング廃液移送用
• 電解コンデンサー用エッチングアルミ箔の製造工程（塩酸）
• 合成石英の製造工程（弗酸）

MER

MEH

MET

MTA

• 液晶の偏光板製造工程（ヨウ素、ホウ酸）

MET

MTA

MSX

• 電解銅箔の電解液移送工程（硫酸銅）

MET

MTA

耐蝕送風機

• 電解コンデンサー用エッチングアルミ箔の製造工程（塩酸）からの排ガス

FTF

• シリコンウエハーの酸洗工程やエッチング工程からの排ガス
• 合成石英の製造工程（弗酸）

FTF

FTB

環境装置

• シリコンウエハーの酸洗工程やエッチング工程からの排ガス

TES

TRS-HS/F

SYS

SBS-F

• 電解コンデンサー用エッチングアルミ箔の製造工程（塩酸）からの排ガス
• 合成石英の製造工程（弗酸）

TRS-HS/F

SYS

• 特殊ガス(SiCL4,SiHCL3,SiH2CL2)

TTS

NSP